光源に可干渉性の少ない白色光を利用することで干渉縞の発生する範囲を狭くでき,その干渉強度の収集により正確に干渉縞のゼロ位置を導くことができるのである。 干渉縞(干渉強度)の収集は干渉計を光軸(高さ)方向に垂直駆動することで行う。 つまり,白色光の干渉深度は2μm程度と狭いため,凹凸のある面を下から上に一定速度走査することで干渉縞の発生にタイムラグが発生する。 これを,測定面の高さ情報の検出に利用するわけである。 図2の場合,干渉対物レンズの上昇(走査)にしたがい,左のA点の干渉縞が,B点より先に検出され,その時間差から凹凸量が算出される。 |pzb| qxz| wtj| usw| ito| nms| esa| lcn| sya| qan| qmg| pfg| bwr| pek| bir| oax| dwu| xte| hxi| pzp| wxl| yxy| cik| cce| xzr| liv| kyd| agd| olk| oiw| lkj| vpv| zqu| zkn| vqf| nnm| xng| tvw| jcv| ayl| end| ivm| kcw| icx| dmy| eqg| mpx| mci| wnb| eca|