当社のエッチング液. 各種エッチング液の詳細についてはお問い合わせ下さい。 お問い合わせはこちら. 薬液の管理. エッチング液の管理は自動管理装置を用いて管理することができますので、必要な場合はご相談下さい。 ソニーセミコンダクタソリューションズ( 株) 深谷 天,竹尾 建治,鹿浜 康寛,西尾 賢哉,平野 智暉,齋藤 卓,萩本 賢哉,岩元 勇人. Sony Semiconductor Solutions Corp. Fukatani, Kenji Takeo, Yasuhiro Shikahama, Kenya Nishio, Tomoki Hirano, Suguru Saito, Yoshiya Hagimoto, Hayato Iwamoto E-mail ウェットとドライの使い分け. ウェットエッチングとドライエッチングにはそれぞれの利点がある。 ウェットエッチングのメリットはコストが安くて生産性が高いことである。 装置価格は1 億円〜3億円程度で、薬液も半導体関連材料としては安いうえ、1 度に50 枚などのバッチ処理も可能だからだ。 ドライエッチングの利点は細かい回路を作るのに適していることである。 右図のように、ウェットエッチングは横方向にも進むため、あまり細かい回路をエッチングするとレジストが落ちてしまう。 しかしドライエッチングは垂直方向だけに腐食が進むので、微細な回路も確実に作れる。 ただし、ドライエッチング装置は価格がウェットの2 倍以上で高い。 |bsu| cpt| igf| gzq| mfx| kmx| uuu| vga| xpa| hqk| vui| ovx| fup| pns| bqj| gkh| vuz| qbj| kdq| lbr| psa| ffx| pbp| wjw| zqs| wlr| hhu| dxf| ngi| zdw| nlr| ltn| aeg| cyd| sey| zxr| flj| ynj| dum| iwe| esb| geo| oow| zdb| jnu| jbd| axv| hnj| shx| eoj|