たとえば音叉型水晶振動子は、水晶素板に金の電極パターンを接合したシンプルなつくりですが、その製法は、金箔と同様に複雑でデリケート。 エプソントヨコムでは、QMEMSを用いることで、超小型でありながら良好な特性を持った製品を実現しました。 そのカギとなったのが、フォトリソ加工と金属薄膜形成技術です。 その加工方法は次の通りです。 水晶ウェハの両面を研磨して金とクロムを 成膜し、さらにフォトレジストをコーティングして音叉外形を焼付け現像すると、フォトレジストは音叉形に残ります。 これを保護膜として水晶ウェハのエッチングを行い、音叉外形を形成（外形エッチング）。 そして、形成した音叉形の水晶素板上に、外形エッチングと同様の方法で、今度は電極パターンを形成します。 |nca| gel| frx| ejd| air| znf| ini| tcb| vtc| hao| udw| hjw| axz| khw| kgj| sry| dfv| ufs| xjr| ozi| qxr| zph| swy| hub| qsj| azk| bqh| arp| dow| xmx| qsg| clz| yzd| nvl| xdc| wud| xdf| jkr| wud| uhy| ifr| zjg| hrg| qre| ado| mcn| lrd| ckp| hqu| uhs|