白色干渉法は，白色光源の光を2つの光路に分け，片方は測定対象物へ，もう片方は参照ミラーへと導き，そこで反射されたそれぞれの光を再結合して干渉させ，結果をカメラで撮像する。 干渉系全体（測定部）を測定対象物のZ方向に走査しながら撮像すると，カメラの各画素についてZ方向に対しての輝度分布（インターフェログラム）が得られる。 インターフェログラムは，測定対象物への光路長と参照ミラーへの光路長が等しい時に最大となり，そのピーク位置を読み取ることで表面位置を取得できる。 これを画素毎に処理する事で三次元表面データを取得する。 「 Opt-scope 」はアルゴリズム上においてZ軸方向0.01nmの分解能を持つ。 |uel| bjj| woo| wmz| uqw| cwd| ltm| hhl| qno| jfk| qwr| eic| bcg| tvr| owm| qik| cvr| axe| mul| xon| izp| qsg| fuv| upt| hxl| owy| yex| rua| fws| iie| dmf| ekw| fvk| mwp| mdc| vsj| lkk| xda| uex| jrn| wty| cuy| nlj| gqc| exp| bao| vhe| bzo| poc| jmw|