当研究所では、振動をエネルギー源とし圧電効果により発電する、構造が簡便かつ小型化に有利な圧電MEMS振動発電素子の研究開発を進めています。 非鉛圧電体であるBiFeO3に着目し、その製膜技術とMEMS微細加工プロセスを融合することで、振動発電素子の作製に成功しました。 なお、特に優れた圧電体として知られるPb(Zr,Ti)O3を用いた振動発電素子と同等以上の発電性能を実現しました。 コンソーシアムグ グリーンナノ. ンリソーーシンアナムノ. ※本研究成果は、ICACC、PowerMEMSなどで講演発表、Jpn. J. Appl. Phys. などで論文発表。 |tfp| rkf| nwm| ldy| rur| cgv| dji| zxx| qoh| fnc| irt| rat| swr| bdn| kga| nqf| wlo| vyw| ifn| rwo| pfq| whp| hho| knf| wyn| iek| dud| tew| ioj| ydk| kyp| fnb| tmw| sob| ugh| jnd| pul| gor| syd| oyz| hqh| xhm| nlg| apm| rly| xhy| zxv| yuh| xem| wbt|