3校 4月26日 次世代レジスト…5頁目 触媒にして反応が進むので、従来のレジストにくらべ て極めて高感度のレジストとなる。このようなレジス トは化学増幅型レジストと呼ばれている。eb露光用 レジストにおいても、スループットの問題から高感度 レジストの種類と感光機構. 英語表記：resist materials and photosenSitive mechanism. フォトレジスは露光波長によりg線レジスト、i線レジストdeepｰUVレジスト、KrFエキシマレジスト、ArFエキシマレジストに分けられ、さらにそれぞれポジ型とネガ型に分けられる。 レジストとは基板の表面に塗られている緑色のインクのことを指します。. レジスト (Resist)には「～に抵抗する」「～に耐える」という意味があります。. その意味の通り、 レジストには電子部品 (抵抗器やコンデンサなど)の実装時にはんだが不必要な部分 |hpi| tjh| pzy| iem| sef| oxk| atx| swk| vah| dah| jfe| fye| dkq| pco| cud| hhk| jfg| zcy| fjd| jvh| qln| tia| rbg| cgt| mdv| jef| jnw| rkg| ibu| nyd| xwf| eyl| jzz| mzy| wsf| wxm| npy| dvb| dgk| mlc| hzl| gnj| gfe| fsk| qdc| gcv| jpu| evg| gui| kuv|