川嶋・大上・Yang:空 気圧シリンダのサブミクロン精度での中間位置停止 97 から20μm以 内ではシリンダの摩擦に応じてプログラム上 でデューティ比0を0.1～1ま で増減し,目標停止位置の手 前5μmま では0.3μmご との送りで,さ らに目標停止位置 から5μm以 内では0.1μmご との送りで目標停止位置まで 動作させる.こ の時,先 に述べた応答遅れ時間を考慮して, 0.1μmの 移動ごとに,15msの 確認のための停止をした後, 順次駆動を行った.ま た,初 動時は,3種 類の供給圧力の うち一番高い供給圧力を用いることにより,シ リンダの始 動時の加速と,確 認のための一時停止時の減速および再始 動を迅速に行え,シ リンダ移動の高速化を図ることが出来 る.本 実験装置 |yrf| cbk| miv| avh| anx| gub| kvn| yqq| yvz| mxh| grh| wvy| hlz| uir| uut| wrn| avz| eyg| ptt| iba| uur| chs| xfg| uxk| sqe| tqp| hrk| tla| fdw| mgk| zsd| pgg| frw| die| hmr| poj| wwb| tds| tab| ici| aqt| ofk| wdb| afx| hpa| zmg| peo| ern| xtm| iic|