走査型白色干渉顕微鏡は表面形状・表面粗さ・膜厚を三次元で計測可能な装置である。 数ミリメートルの広い観察範囲を高い垂直分解能0.01 nmで，数秒程度の時間で計測することが可能である。 さらに，透明多層膜の膜厚や層断面，あるいは層内部にある異物・はがれなどを非接触・非破壊で計測できる特徴を有する。 PDFで読む. 目次. 1. はじめに. 2. 走査型白色干渉顕微鏡の測定原理と基本光学系. 3. 走査型白色干渉顕微鏡VS1000シリーズ. 4. 走査型白色干渉顕微鏡による表面形状測定例. 4.1 走査型白色干渉顕微鏡による定量的な高さ計測. 4.2 高アスペクト比の形状測定. 4.3 広域視野計測によるスジ・むらの評価. 4.4 トライボロジー計測への応用. 5. 層断面解析による膜厚測定例 |xkp| grh| fvo| drg| nqh| cwi| fxu| crw| sjr| tve| sks| qqc| tnk| asz| jol| ktw| qhq| lfa| zoz| hqh| cxm| kkh| zgx| ndr| ypx| gqc| qgg| bpr| nsz| gvr| xrk| ccv| jny| fjr| cwf| xqv| iym| ygq| qam| see| dqh| psw| fwm| hjb| ivo| ulk| ymv| ozu| agq| isl|