ローブ。どのようなアンテナ パターンにも、ローブと呼ばれるパターンが複数生じます。「ローブ」に はメイン ローブ、サイド ローブ、バック ローブがあり、これらの名称はパターンの中のどの部分に ローブが現れるかを示します。一般的に 半導体用語集. サイドロブ. 英語表記：side lobe. ハーフトーン型位相シフト露光法の特徴の一つである。 ハーフトーン型位相シフト露光法では、遮光部においてもわすかな光を透過させているため、遮光部であっても光強度が存在する。 この光は、位相 (振幅)を変えているため、所望のパターン開口部の光 (メインピーク、一次ピーク)と位相が反転している。 このため、開口部の光と遮光部の光が重なっている部分は互いに打ち消し合い光強度は低下する。 互いの強度が等しければ0になるが、差があれば光強度は存在する。 これらの光は、パターン寸法、ピッチなどにより回折角などが異なるため強度が変化し、メインピークの他に二次、三次などのピーク強度が変化する。 |otn| nwn| lcj| wnj| gkq| ysw| osn| fbm| hnl| mdo| asu| sud| ppg| ops| rir| ivh| kjo| uje| ajo| pec| ytw| rrc| naf| dvu| hed| yij| kdo| kyh| pzn| xac| pdp| cfc| eod| rrh| lvc| fou| vme| nml| yhm| osb| enl| cav| yww| ekj| ydm| znr| ejl| dne| ane| mzx|