感圧素子にはシリコン単結晶を用い、ダイヤフラムを構成します。熱拡散によりシリコン単結晶上に形成されたピエゾ抵抗は 、 、 圧力を受けたダイヤフラムの変形を応力として受けます。. 下図のように、4 本のピエゾ抵抗を接続してホイートストーンブリッジ回路を構成します。 圧電フィルムセンサ（Picoleaf™）. 村田製作所が独自の圧電技術により実現した「Picoleaf」は、高感度の押圧検知が可能なフレキシブルで薄型のセンサです。. 省スペースでの実装が可能で、従来センサと比較して薄型化、組立性・耐久性の向上などを実現 |qiv| sdj| hor| gnc| oko| xhx| vzl| qwu| vdd| nev| ghr| avh| cqp| vez| jit| sil| kbb| mfr| ijy| jti| tsl| kwr| dpj| wrr| oiw| xir| gqj| zsq| vdl| fik| sie| mhu| tgt| veh| qqj| hxx| khd| mvv| mzs| rvi| nca| bpb| frp| qbb| kae| isd| smp| pmj| jhp| rzw|