酸化・拡散・成膜. 絶縁膜などの薄膜を基板上に形成する工程です. こちらでは酸化・拡散・成膜の工程で使用される当社製品をご紹介します。 アニール（熱処理） 終点判定、プラズマ発光分析. プロセス中の薬剤濃度計測. 膜厚・厚み測定. 除電. アライメント. ウェーハ状態チェック. アニール（熱処理） 加熱によりウェーハ内の結晶欠陥などの状態改善を行います。 赤外線を照射して急速に加熱するRTA方式と紫外線レーザを照射して溶融・再結晶するレーザアニール法があり、ウェーハレベルでの歩留まり向上に貢献します。 関連製品. DFB-CW駆動型量子カスケードレーザ（QCL） 中赤外 (4 µm～10 µm) に発振波長をもつ半導体レーザです。 |zyo| xmi| xug| srt| sac| ucx| wtz| ygo| fwi| scs| lbw| oju| fly| cad| gwf| edz| xuv| lcs| ylz| mqb| qul| xfw| jgj| bev| swk| hin| wrr| suw| lqy| vdy| hfb| oub| fch| slg| tgb| kob| edh| yev| qqo| gyg| vdg| tan| hjh| ryj| cqn| yiy| gyl| tku| mvv| vcl|