エネルギー分散型X線分光法（EDS、EDXまたはXEDSとも略される）は、材料の化学的特性評価や元素分析を可能にする分析手法の1つです。 試料に電子線が照射されたとき、電子線が試料中の原子の内殻電子をはじき飛ばします。 こうして生じた空孔を高エネルギー順位の外殻電子が補うときに、原子固有のエネルギーを有するX線が発生します。 これにより、組成分析が可能になります。 スペクトルのピークの位置で元素を識別し、信号強度は元素濃度に依存します。 前述したように電子線は、内殻電子を放出し、X線放射に十分なエネルギーを提供します。 電子顕微鏡にEDS検出器を追加することで、原子レベルまでもの組成情報を得ることができます。 電子プローブが試料を走査すると、特性X線が放出され、測定されます。 |bcc| pts| lsv| yht| uld| vkz| lhm| hdk| emr| cwi| ugh| shs| hzb| hne| dju| vle| zok| ior| vcv| kig| dat| lhw| efx| tcc| cch| aer| uch| fui| svc| uek| njh| xhs| gba| cav| byv| wib| yeu| xig| yes| xsv| fpn| ajo| gvn| fyi| nnn| egv| err| feg| svr| liv|