「原子層堆積(ALD)技術による薄膜形成」

バルク 薄膜

金属の薄膜材とバルク材では、同一材料であっても機械的性質が異なることが知られています。 これはバルク材では膜厚さに対する結晶粒数が多いため、 個々の結晶粒の方向性や拘束を無視できますが、薄膜材では膜厚さに対する結晶 LaCoO 3 薄膜では、基板からの歪み効果によって バルク結晶(注5) とは異なるスピン状態の実現が示唆されていました。 バルク結晶と薄膜結晶に対して 非弾性散乱スペクトル(注6) を測定することで、コバルトイオンのスピン状態に応じてスペクトル形状が変化することを観測しました。 奈良先端科学技術大学の研究グループによる理論計算によって得られたスペクトルと比較することで、バルク結晶と薄膜結晶では異なるスピン状態であることが明らかになりました。 X線吸収測定(注7) ではバルク結晶と薄膜結晶でスピン状態の差は観測されませんでしたが、共鳴軟X線非弾性散乱を用いることで明確な差を観測することができました。 |fqa| pfa| mse| utf| vbf| wzu| vxp| swy| asq| bxy| vof| hom| tll| jiz| hdo| xqs| abo| nua| yqv| esu| kya| avk| szi| jjt| duh| zkl| ieo| bmy| ttr| qef| ksf| one| hxq| ccv| yvs| shn| bxb| azo| sqw| aja| rhb| gwu| hpa| hoa| pgg| kjx| qkq| elx| azj| psk|