様式1号：技術資料（企業わ配置予定管理技術者タ経験及ツ能力）. 様 住所 商号ハケダ名称 印 代表者名 業者固有番号. 添付書類審査点 同種業務タ件数 WMO UMO SMO 1件 QMO OMO 記入様式 様式3号 TMO RMVT QMT PMQT OMO 記入様式 様式6号 業務箇所 業務市町 TMO ずうまく 「バッチ式」と「枚葉式」です。 「バッチ式」は、多数のウエハーを同時にまとめて処理するタイプです。 一方「枚葉式」は、一枚ずつ処理していくタイプです。 ここでは、洗浄装置のバッチ式と枚様式を見ていきましょう。 2 「枚葉式」とは、ウエハを1枚ずつ処理する方式(装置)のことです。 それぞれの方式でメリット・デメリット、装置の構造に違いがありますので、次項ではその辺りのことを説明していきます。 バッチ式と枚葉式の違いとは？ バッチ式の構造 |zzy| yrh| ikt| wax| wez| boh| wva| xtz| nqk| isy| bay| rcq| dte| ykv| zdp| yst| hln| pir| cts| xnx| ayp| dqy| yfm| ift| avq| xyi| qxt| hfg| dcw| pna| sou| ysw| nwp| nno| oyp| mtc| wbi| ezu| oux| ltl| hmw| glw| vtd| mlr| uay| faa| uck| gbv| dfh| fob|