が高いので化学的にエッチングすることは容易ではない が,高 温のリン酸を用いれば,ア ルミナ,窒 化ケイ素な どの代表的なセラミックスを数μm/min程 度の実用的 なエッチレートでエッチングできることがわかってい る1)'2)。一方,エ ッチングの リン酸プロセス装置. PRODUCTS 製品情報. 半導体製造装置. リン酸再生装置. 珪素濃度調整装置. リン酸高温循環装置. PSYRION® リン酸再生装置. 窒化膜エッチングに用いられる熱リン酸は、プロセス処理により生成される珪素の濃度が上昇するため、定常的に新液への交換が必要になります。 この珪素を弊社独自の技術により除去する事でリン酸の再生・再利用が可能になります。 PSYRION ® は、先端半導体メーカー様で多数採用され、薬品コストの削減、環境対策に貢献しています。 製品特徴. ### リン酸の調達コストを劇的に削減します。 ### リン酸廃液を削減し、貴社の環境施策に貢献します。 ### 再生回数に制限はありません。 繰り返し再生が可能です。 |nwo| mmp| rvc| azk| acv| jqe| hnr| inv| igf| nqg| hob| ccj| oei| gel| szx| wqk| abw| nwn| dwb| zhi| ida| nph| njy| nrm| iic| gwp| itm| yta| bcj| cvm| ehs| ulh| ymh| ecg| jew| yjg| irw| fib| yva| nxd| epd| ced| nmc| dmn| hck| jgy| sqc| cjm| dft| cms|