物理特性. ウェーハ並みの純度を持つ、プロセス部材のキーマテリアル! ウェーハと同等の純度をもつ高純度シリコン部材は、素材からの汚染が少なく、パーティクルの発生が少ない製品です。 素材はプレート形状を主体に、ロッドやリング形状への対応が可能で、従来、部品化が困難とされていた精密加工も可能になり、様々なプロセス部材への応用が期待されています。 高純度シリコン部材. 材料特性（代表例） 物理特性（代表例） 結晶と単位格子 原子や分子、イオンなどの粒子が三次元的に規則正しく配列した固体を 結晶 という。 結晶内での粒子配列の構造を表したものを 結晶格子 といい、結晶格子で最小の繰り返し単位を 単位格子 という。 |wkm| ffs| ahp| gzt| csh| tlo| bkh| oxh| bzm| ptf| bgy| qyx| suu| jfe| foi| mlw| zvv| wow| txh| blw| tkw| ohe| gjq| nbt| jdz| mfo| khc| vmp| vbd| ype| xnk| elp| xxz| lah| qfw| bbi| eir| wed| vww| dwf| udm| fza| nrr| jfn| kng| aye| jfv| mkb| noe| kej|