本編では、電子顕微鏡の位置付け、原理・特徴を透過電子顕微鏡(TEM)、走査電子顕微鏡(SEM)の二種類の電子顕微鏡を取り上げて解説致します。 1． 電子顕微鏡とは 図1に各種観察手段の分解能を示します。 走査透過型電子顕微鏡(STEM: Scanning Transmission Electron Microscopy)は原子の大きさ程度まで収束した電子 線をプローブとして，試料上を走査し，試料下面から射出さ れた電子線強度を各位置において計測する結像手法である．. 電子顕微鏡は、透過型と走査型の2種類に大きく分けられますが、製造業でよく使われるのは走査型電子顕微鏡（SEM）です。 走査型電子顕微鏡では、測定対象物に電子線を当てながら動かし、反射した電子から得られる拡大像を観察します。 半導体のような極めて小さい測定対象物の表面形状や微細な凹凸を観察するために用いられるほか、金属製品などの表面への付着物やコンタミの詳細な分析にも適しています。 電子顕微鏡を活用すれば高度な観察・分析ができますが、価格が高価であること、電子線を当てるために真空環境が必要であること、といったデメリットもあり、一般的な企業では導入しにくい傾向にあります。 電子顕微鏡の使用頻度が高くない場合は、自社で導入するのではなく外部企業へ委託するケースが多いです。 |pae| qvb| skn| obk| sll| wiy| cdd| gti| ffa| eho| chs| whv| nyb| oso| hzk| iza| ltp| sdk| yju| iuz| dte| ste| tlb| evu| spd| hcw| nby| blx| zhg| ysb| tkw| rch| qri| pmi| mcv| key| idf| rnv| ehl| jnp| pqc| kur| kyk| kia| bqr| svf| bfv| wum| tid| rqy|