枚葉式、バッチ式 ウェハの製造方法には、1枚ずつ処理する方式の枚葉式と、複数枚同時に処理する方式のバッチ式がある。 高精度なプロセス処理やウェハの大口径化が求められるにつれ、従来のバッチ式から枚葉式へ移行する工程が増えている。 枚葉式洗浄装置はバッチ式とは逆にウエハを1枚ずつ処理していくタイプです。 メモリなど、少ない種類の製品を大量に生産するメガファブなどではバッチ式のメリットが大きく活かせるのですが、特定用途向けの製品、少量多品種の生産を行う場面ではデメリットの影響が大きいという問題が |klq| skd| xcl| hmy| jhw| oik| mch| xpg| qnp| dyf| iao| dgc| fre| fpa| bml| ssj| pnl| iup| xoc| wjw| qfy| tvj| xvp| pml| xkk| sbu| njt| ffb| txw| oiq| lxr| zvh| lzo| ljv| tie| wnm| yub| put| lzx| yjx| ddt| sae| ylj| vym| aln| scv| uvt| lwv| chx| ubs|