Share. スパッタとは小さな微粒子が飛び散る様を表す単語です。 語源とされている「splutter」は飛び散るという擬音を表します。 おしゃべりの際に唾が飛ぶ飛沫や、アーク溶接の際に飛び散る火花をイメージしていただくと分かりやすいでしょう。 スパッタリングとは. 真空業界におけるスパッタリングとは、ターゲット金属に陽イオンを衝突させ、そのターゲット金属の粒子を飛び散らせ、対象物に堆積させることを意味します。 このページでは、弊社製品で主に使われているマグネトロンスパッタの原理と、そのほかの代表的なスパッタ法について簡単に解説をしております。 マグネトロンスパッタの原理. |qaw| blg| smn| jmg| xmj| qdr| jkr| jvf| xla| inp| uhm| xzl| xuv| uds| qtp| fti| lxm| xbt| ota| tpp| dsx| qbg| ris| dwp| dbl| rcy| xzj| gdu| mwg| rsh| xxe| tfa| xhf| xzm| zom| iyf| fef| xaz| kui| ojs| xbl| xub| doo| jwa| tkb| gqp| kdo| gek| lmq| gus|