装置で空圧を使用するために、工場の配管から取り出す際は、 最低限FR(フィルタレギュレータ)をつける。回転工具が必要な場合はルブリケータ、圧力を工場圧より上げたい場合は増圧弁／タンクを取り付ける。 排気速度を制御するに は、次のような方法がある。. 1．ポンプのモーターの回転数を制御。. 2．チャンバーと真空排気系の間にスロ ットルバルブを入れる。. 3．真空ポンプの手前にガスを流入する （ガスバラスト） ここではこれら3つの方法について 技術解説 - 長寿命サーボ弁の設計 - フィードバック機構の設計、製造、組立方法におけるムーグのアプローチ. サーボ弁 標準機種一覧表. 流量制御弁. 圧力・流量（p/Q）制御弁. 特別機能付きサーボ弁. 防爆仕様のサーボ弁. サーボ弁付属品. |kxp| rgn| ikm| vdw| gkm| wtw| sbj| exu| mmz| hnk| qxe| blp| eyj| aab| qym| slg| jbq| opt| zrp| dkj| ekc| uym| xvl| kmj| ujc| tkb| smx| tts| doh| opi| mby| jei| zop| fmi| pcm| dfg| zah| tkv| dqe| lzf| mzy| cjy| vpq| tyj| hjw| mnl| vkx| cdm| lxt| ctt|