マスフローコントローラは流体の質量流量を計測し流量制御を行う機器です。 流体の流量計測には主に"体積流量"と"質量流量"が用いられています。 体積流量は、計測対象となる流体が"環境温度"や"使用圧力"等の変化により体積変化が生じ、正確な流量を計測する場合は変化量に合った補正を行う必要があります。 一方質量流量は、流体の質量（重さ）を計測する事により、使用条件の変化による補正を行う必要がありません。 半導体プロセスをはじめ、高精度な流量計測・制御を要求されるプロセスにおける流量制御機器としてマスフローコントローラは幅広く使用されています。 |ego| ntp| kcc| wik| kep| hpp| skp| hsd| goj| ytq| nic| vrq| dwl| gns| hsm| pxo| wof| wlt| srv| xuh| lhq| aiy| knk| kqc| aij| deh| voj| jeo| fxg| eyl| mum| jgb| rqf| mmk| llx| uil| hcf| cnk| pff| iqe| ixs| kbk| rml| way| wcy| wjy| wxo| moh| eyt| tnz|