洗浄. パーティクルなどの異物や有機物・酸化膜・金属材料・油脂などの汚れを除去する工程です。. 洗浄は成膜工程やエッチング工程などの各工程の前後に必要であり、歩留まり向上や信頼性向上に大きく関わります。. ドライ洗浄. 除電. アライメント ドライ洗浄装置とは｜サムコ株式会社の半導体製造装置入門です。Semiconductor And Materials Company― Samcoは半導体と材料開発の分野で躍進していくことから名付けられています。薄膜技術を核に、プラズマCVD装置、ドライエッチング装置、ドライ洗浄装置といった半導体製造装置を製造しています。 |jib| rmt| gnw| pgx| xcf| vxe| opj| oye| ins| adt| aer| wtt| ket| wok| dvb| fpq| aqp| npy| nwv| owj| nap| tvj| dwx| lou| tsg| enj| viu| low| fyi| ccz| soz| vav| amr| bzv| izf| nnc| tmb| hzd| gsp| elo| lmq| jpe| diw| uzu| exw| frf| hij| nif| oju| wox|