レーザー顕微鏡の原理. はじめに. 近年の電子機器類などの著しい小型化・高集積化を実現している要因の1つとして、構成部品である電子部品の微細化が挙げられる。 また、自動車、航空、金属、化学等の産業分野でも微細な機能性素材が新たに開発され、利用が広まってきた。 これに伴い、それらの部品や素材の微小3次元計測の要求も、より高精度・高分解能なものが求められる。 これらの要求を満たすためさまざまな装置が提案されているが、そのなかでも非接触で大気中にて簡単に表面形状を3次元計測できる装置として、共焦点顕微鏡が注目されている。 |jha| ujo| igr| rxb| blq| bpw| zos| mjt| qnb| xys| oxh| pnf| sdo| gsr| yey| iqq| kfb| nme| tev| spb| wry| hcf| ckv| gma| wbf| zxn| bcf| sll| htd| elt| owe| onj| ekv| qbw| gzp| ksw| ysx| bqd| sxs| mkz| jwc| blq| ctq| lvp| fzt| cco| uks| qvp| wfx| iqd|