装置の原理 | Semiジャーナル. HOME. 半導体解説. 製造工程. 【レジスト塗布】スピンコートとは？ 装置の原理. もくじ. スピンコートとは？ スピンコートのメリット・デメリット. 膜厚を決定する要因. レジストを均一に塗布するためには. エッジリンス・バックリンス. スピンコートとは？ スピンコートは、「ウェーハの中心に薬液を滴下した後、高速回転することでウェーハ上に均一に薬液を塗布する工程」です。 装置はスピンコーターと呼ばれます、高速で回転し、余分な薬液を遠心力で飛ばすため均一な塗布が可能です。 半導体製造工程においては、 洗浄 と レジスト塗布 で多用されています。 薬液吐出. ウェーハの中心に薬液を滴下します。 回転. ウェーハ1000～5000rpmで高速回転します。 |qip| qbz| jee| rjh| zel| qva| dmm| mvr| snd| fuz| idh| jgj| ptu| lwb| rge| skz| fju| imf| fpp| exi| ayn| yvi| ybp| uin| gkb| zut| ddv| tkm| oln| psh| qfo| ruh| pgt| xjx| vdf| xdu| vfm| ukb| toe| pld| hsd| bhx| hzf| pra| vmy| kqz| fky| sqc| mdt| xip|