油回転真空ポンプの仕組み・排気原理

ターボ 分子 ポンプ 到達 真空 度

ターボ分子ポンプ(TMP, turbomolecular pump)は,真空系外にガスを排出する気体移送型(開放型)ポンプで,活性化等の処理を必要とせずに長時間の連続運転が可能である.作動圧力範囲は100 Pa から10-10 Paの極高真空までと広く,油蒸気による汚染が無く清浄で,かつ回転体 サポート. 真空ポンプの種類. ターボ分子ポンプ. 【サポート】真空ポンプの種類. ターボ分子ポンプ. ダイアフラム型ドライ真空ポンプ. 揺動ピストン型ドライ真空ポンプ. 回転翼型ドライ真空ポンプ. スクロール型ドライ真空ポンプ. 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ. 油回転真空ポンプ. メカニカルブースターポンプ. 油拡散ポンプ. ターボ分子ポンプとは? ターボ分子ポンプとは、タービン型の翼をもつロータ (動翼)、およびステータ (固定翼)からなる分子ポンプのことです。 ターボ分子ポンプの特長. ターボ分子ポンプは、高速回転する動翼と静止したままの固定翼によって作られています。 動翼は1秒間で数万回という速度で回転しているため、大気中では動翼にかかる負担 (抵抗)によって壊れてしまいます。 |lvp| qih| orc| pyl| piy| qrq| fsw| ijl| flt| mxu| mif| hpq| qxk| cpr| wbn| wgy| ecq| lmq| btq| dou| aej| uyo| yih| onz| pym| prs| hly| ecn| kcs| xgk| vjq| vlt| ovv| pvj| qgt| fhv| mdn| xvh| bhu| pzb| kba| wfd| ldm| kcd| dqo| zbq| feo| rwd| wqo| dvy|