再生ガスポンプゲームガレージ
可燃性ガスを溜めこんだクライオポンプを油回転ポンプで排気するときは、クライオポンプ内の可燃性ガスを少量づつ排気し、さらに排気ダクトには窒素ガスなどの不活性ガスを導入してダクト内の可燃性ガスの濃度が燃焼範囲以下になるようにし
クライオポンプ クライオポンプについて 標準型クライオポンプ 特型クライオポンプ スパッタリング プロセス用 スーパートラップ コンプレッサユニット オプション 低温機器 極低温冷凍機 クライオスタット 液体窒素ジェネレーター (液体窒素発生装置)
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