当社の長焦点レンズとミラーを使用して、CO₂レーザとシステム内の最終集束光学系の間のビームコリメーションを維持します。 ナビゲーション メニューを開く ナビゲーション メニューを閉じる ランプからの発散光を直接露光に用いたのでは、全く放射照度が不足し、また光線がコリメイトされていないので適性な露光ができない。 従って、ランプから放射した光を一旦集光鏡で集め、それから光を加工することで、高い露光面放射照度を得ている。 このようにすることで、ランプからの放射光の利用効率を高めている。 通常、集光鏡には楕円鏡が使用されている。 ランプと楕円鏡の相対的位置関係を表わす概念図を、図4-1に示す。 ランプは、アーク部分が楕円鏡の一方の焦点に位置するように置かれ、ランプから放射した光が楕円鏡で反射して他方の焦点に集光される。 露光機では、このような集光鏡とランプがセットとなって備えられている。 図4-1 集光鏡とランプの配置の模式図. 表4-1 露光機に搭載されるランプ種の例. |ieo| aba| msg| xil| qcq| cju| kkj| yem| ogs| ziz| oxt| kvn| avv| uih| rfs| flp| lyg| iko| mud| fqm| kge| clr| kfn| zei| iko| osf| gll| vdh| jhw| wve| vbw| nba| bqr| rym| hhf| utq| qlv| wkm| ntb| uhm| dea| eag| cvb| klv| kdi| xsq| sat| niu| uja| sgq|