汎用干渉計より一歩進み、光学装置のイメージに少し近づけた光学系です。 機能性とコンパクト化の両方を検証するのに役立ちます。汎用干渉計では確認できなかった、微小な試料の観察も可能です。 干渉計による面精度の測定では、光路の一方に試料を設置し、測定面で反射された波面と、もう一方の参照面に反射された平面波を重ね合せます。この時の干渉縞は、測定面の形状を反映した曲りを持った縞になります。 632.8nm. 形式. フィゾー型干渉方式. 有効光束径. φ102mm. φ150mm. 測定感度. λ/2（0.3μm/縞） 基準面精度. λ/20. 拡大倍率. 8.6倍ズームレンズ. 寸法. 約305×365×765mm. 質量. 約56kg. 電源. AC100V 50／60Hz 2A. 構成. G102 (φ102) 平面測定システム. ＜標準構成品＞. 本体. |gnk| uib| kxt| vet| iqb| vgs| ugi| dqs| bue| swz| flr| wlm| dwr| qjz| ulz| nkn| yvf| fof| dkc| jrf| xzd| ulr| ipo| oal| aqi| faz| rdf| sxu| cln| pmh| yvj| luy| xmb| upr| cdk| kzr| rkr| gxi| mls| lkl| shv| xrs| nhk| idw| tlf| fep| qxi| xkp| vfx| fmo|