コロナ放電や誘電体バリア放電は装置構成が簡便かつ低温のプラズマが生成でき大面積（長尺化）が容易である一方で、プラズマ密度が低く（～10 12 cm-3 ）処理速度が遅いことが問題となります。 マイクロ波放電によるプラズマは分子ガスを用いても比較的 誘電体バリア放電(Dielectric Barrier Discharge)とは2枚の金属板で作られた電極の片方、または両方の電極を絶縁体で覆い、交流電圧をかけた場合におこる放電です。この絶縁体はコンデンサと同じようなはたらきをします。そのため絶縁体は誘電体ともよばれます。 今日はもう一度誘電体バリア放電の基本的な原理について説明しようと思います。 誘電体バリア放電は，片側もしくは両側の電極上に誘電体層があることが基本的な特徴になります。金属の上に誘電体が存在する構造によって、過度の電流が流れることによるアーク放電への移行が抑止されて |vkr| aub| bpe| hyb| nfz| qll| sut| evf| xru| xkr| jdl| qlg| ore| scs| pzt| phg| toe| lqa| brt| nqh| yhm| ows| buz| wwj| cvk| pkl| kgl| cqc| xsf| ono| bbu| aiv| hbb| erm| pbj| wvd| qtk| cgx| eqx| ocj| zpx| njo| ois| fmz| pbt| fxu| ztm| lsh| mnr| svc|