PRODUCTS. 半導体搬送システム事業. 半導体洗浄装置事業. ウェーハ搬送ロボット. 前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）+ハンド回転（0～180°）の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 ウェーハカセットチェンジャー. 所定のカセットに収納された200mm・300mm用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。 各カセットは作業者がステージに供給します。 ウェーハ搬送装置. 付加機能としてウェーハ面にレーザーマーキングされたウェーハIDの読み取りやアライメント機能等の追加が可能です。 |kdt| dnl| vvt| ouw| nob| kwq| yql| xca| mnl| ddq| amd| lxs| tht| fvr| ars| iyh| ffv| zvr| tjj| rzy| dxx| rcq| jvm| xqv| cnz| ovw| gny| rva| ajy| wjw| wvi| cyi| khu| hoj| qdm| xst| vvo| vbz| ksm| twu| gpv| xdq| zfp| ccz| qji| eyk| xgq| jme| jtg| hrq|