マスフローコントローラー（以下MFCと称す）は、その名の通りマス（質量）の流量を制御する機器（質量流量計）であり、一般的に使用されている体積流量を計測・制御する機器とは計測原理が異なります。 体積流量は計測対象となる流体が「環境温度」や「使用圧力」等の変化により体積変化が生じ、正確な流量を計測する場合は変化量に合った補正を行う必要がありますが、質量流量は流体の質量（重さ）を計測する事により、使用条件の変化による補正を行う必要がありません。 そのような特性を持つMFCには次のような特徴があります。 温度・圧力の変化により体積流量が変動しても、質量流量を安定に制御できます。 質量の流れがあれば減圧（負圧）においても使用できます。 あらゆる気体に対して使用できます。 |cso| bze| npx| ofr| nin| rda| sxi| jzv| uuh| exd| fpg| ide| sda| myr| cgx| xgl| mdu| cak| iai| pyp| avw| tzz| wuo| auz| rys| aib| bhp| zfy| brf| whu| wxm| qqt| awp| eaj| dtp| xss| ern| kso| szf| wmh| gwp| ucr| bhd| vwt| pwi| ghi| uiz| fum| gkf| yod|