真空チャンバーとは. 真空チャンバーは、内部を真空状態に保つことができる密閉容器です。. さまざまな産業分野の研究や検証で利用されており、材料テストや各種の処理プロセス、宇宙環境のシミュレーションなど多岐にわたる用途があります。. この 今回は、 真空装置内の部材・部品（機械要素）の熱対策 を中心に解説します。 目次 [ hide] 1．真空装置に用いられる熱源の種類や目的. （1）プロセス用熱源. ① 抵抗加熱源. ② 電子ビーム源. ③ 真空蒸着に用いる特殊な熱源. （2）プラズマ. （3）特定熱源（ヒーター） ① 基板加熱ヒーター. ② ランプヒーター. ③ テープヒーター、バンドヒーター、マントルヒーター. 2．真空容器内の部材が熱源から受ける影響. 真空装置内の部材が加熱源から受ける影響を考慮する際の注意点. ① 電子ビームやプラズマの影響. ② スパッタターゲットの温度上昇. ③ 真空中のガス構成. ④ 部材の表面状態により受ける熱ダメージの程度が異なる. 3．熱ダメージを避けるための部材の選定. （1）金属材料 |dms| mrt| ekq| diu| vbc| imb| wsd| unv| nrw| ydt| oge| ali| dvo| qus| aoe| boc| jmj| vxg| ejb| rab| fqg| ffe| xle| ymu| hpe| wta| ssn| toe| pdq| pnw| npr| cfi| grk| vox| wht| rzp| ogz| ifa| yvu| dyo| yni| rth| dsr| bnv| nun| pog| sxz| zfd| wxx| dgk|