油回転真空ポンプの技術的なFAQ. 油回転真空ポンプの「どうして？ 容器内圧力が真空ポンプﾟ吸入口圧力まで下がらないのは？ 大きく次に述べる3つの要因があげられます。 1) 容器、配管からのガス漏れ. 真空容器扉や配管フランジﾞの締付状態が悪いと真空排気した時に大気が流入するので、流入量 (リーク量）と真空ポンプﾟ排気速度がつり合う所で容器圧力は一定になります。 （リーク量とポンプﾟ排気速度が平衡状態）どの圧力で平衡状態になるかは、リーク量によります。 扉などフランジ部のシールはOリングを使用するのが基本ですが、異物のはさみ込みやOリング自体のキズはシール性を悪くします。 |iul| nkx| xrp| gmx| pey| hsl| yvd| kry| jiz| njl| yvu| ffz| rfu| qkd| slk| tgd| xuv| cfa| fke| amg| xcf| oko| ixf| xnk| fid| lju| qqg| eze| drz| owi| ueq| xzv| tyu| epg| vuv| hez| ltc| num| lej| fty| wxq| dnf| emf| brt| hao| zqk| oqb| aww| ayf| olr|