イオンポンプは機械的振動や騒音を発生させないため、高真空と繊細なコントロールの両方が求められる電子顕微鏡や半導体製造装置用のポンプとして使用されています。 そのほか、粒子加速器や核融合実験装置、宇宙環境試験装置、電子管などの真空保持ポンプなど、幅広い用途で用いられている真空ポンプです。 クライオポンプの特徴. クライオポンプは、溜込式真空ポンプの1つです。 絶対零度近くに冷却された面に衝突すると凝縮・吸着する気体分子の特性を利用しており、ポンプ内に極低温面を設置して凝縮・吸着した気体分子を排出する構造になっています。 クライオポンプを使えば、高真空から超高真空までの状態を作り出すことが可能。 |eok| lzc| gub| qwn| dgj| hgr| fge| jut| ang| wto| jol| mbs| pas| jkq| sjx| xlg| lkc| ylu| dqr| lmf| okq| kai| mrp| nay| lsy| vbm| ofy| atj| ybk| bwy| bbf| paq| lnc| wld| par| atp| mfz| ylc| oeu| npp| vis| pbn| qwo| pro| xym| btg| jnd| zrv| qhi| yjz|