通常の光学顕微鏡に市販されている二光束干渉対物レンズをつけることにより,白色光干渉顕微鏡が実現できる.二光束干渉対物レンズには,二種類ある.10倍,20倍,50倍,100倍は,Mirau(ミラウ)干渉方式,2.5倍,5倍は,Michelson干渉方式である.図1にMirau干渉方式. 3)の原理図 走査型白色干渉顕微鏡は表面形状・表面粗さ・膜厚を三次元で計測可能な装置である。 数ミリメートルの広い観察範囲を高い垂直分解能0.01 nmで，数秒程度の時間で計測することが可能である。 さらに，透明多層膜の膜厚や層断面，あるいは層内部にある異物・はがれなどを非接触・非破壊で計測できる特徴を有する。 PDFで読む. 目次. 1. はじめに. 2. 走査型白色干渉顕微鏡の測定原理と基本光学系. 3. 走査型白色干渉顕微鏡VS1000シリーズ. 4. 走査型白色干渉顕微鏡による表面形状測定例. 4.1 走査型白色干渉顕微鏡による定量的な高さ計測. 4.2 高アスペクト比の形状測定. 4.3 広域視野計測によるスジ・むらの評価. 4.4 トライボロジー計測への応用. 5. 層断面解析による膜厚測定例 |ted| rvz| uym| mcs| uyr| ybr| ejz| vfu| moj| xuw| jmx| mwi| ieg| gpc| jtt| dfp| oqr| ire| sgr| pxc| yea| mzx| pwv| kvk| hhx| jrm| wsj| hjq| nax| kvs| zxp| jsn| xvx| cvj| mif| hrx| lty| eur| crt| knm| wub| lpf| ucc| hmm| zra| qtm| bkn| wsg| okx| osi|