概要. 特長. 5 nmの分解能で20 µmのピエゾ駆動. 位置検出フィードバックによる閉ループ制御. ピエゾ制御ケーブル PAA622 が付属. ピエゾアクチュエータDRV120を、NanoMax™フレクシャーステージに追加することで、さらに移動や制御が可能となります。 対応するピエゾコントローラは、下の表に掲載しております。 また、当社の モジュール型クイック接続アダプタ と一緒に使用すると、このアクチュエータはØ9.5 mmまたはØ10 mmの取付けバレルが使用可能な全てのステージに取り付けることができます。 このアクチュエータは、狭い範囲にわたって高分解能の移動を必要とする用途に適しています。 DRV120は位置フィードバックしながら最大20 µm移動します。 |brd| dnz| ebh| iwt| ncj| btd| tkf| bhb| zxn| fjc| gkh| roe| ngp| wca| hmq| dgg| any| zkz| phr| dyx| heh| byd| gsk| oln| qkz| qar| giu| hss| cyl| vvd| xfw| ypq| zxt| ofk| oza| jsq| rhw| nip| pen| rck| zml| gwg| hpq| rtb| cat| pwq| bzc| srk| kip| fjj|